電阻測試儀的原理及使用方法

一、電阻測試儀測試原理：

當四根金屬探針排成一條直線(xiàn),并以一 定壓力壓在半導體材料上時(shí),在1, 4兩根探針間通過(guò)電流I,則2, 3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示)。

根據公式可計算出材料的電阻率:

其中,C為四探針的探針系數(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距。

二、儀器操作:

(一)測試的準備:

1 ,將電源插頭插入儀器背面的電源插座電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置;

2,工作方式開(kāi)關(guān)置于'短路"位置電流開(kāi)關(guān)處于彈出位置;

先將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置,同量選擇開(kāi)關(guān)置于“短路",出現數字顯示,通電預熱半小時(shí)。

3,將手動(dòng)測試架的屏蔽線(xiàn)插頭與電=氣箱的輸入插座連接好;

4,對測試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);

5,調節室內溫度及濕度使之達到測試要求。

(二)測試:

先將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置測量選擇開(kāi)關(guān)置于"短路" ,出現數字顯示，通電預熱半小時(shí).

1,放好樣品壓下探失，將測量選擇開(kāi)處置于"刻量"位置，板性開(kāi)處置于開(kāi)關(guān)上方;

2.選擇適當的電壓量程和電流量程，數字顯示基本為0000",著(zhù)末位有數字,可旋轉調零調節能好使之顯示為0000"; .

3.將工作方式開(kāi)關(guān)置于"1調節"按下電流開(kāi)關(guān).資動(dòng)電流調節旋鈕,使數字顯示為"1000"讀值為各電流量程的滿(mǎn)量程值;

4.再將性開(kāi)笑壓F.便數顯也為1000+1,溫出電源開(kāi)關(guān)將工作方式開(kāi)關(guān)置于1或06.28處(探頭問(wèn)距為1.59mm時(shí)置于1位置問(wèn)距為1mm時(shí)置于6.28位置):

《師節電流后。上述步疆在以后的肉量中可不必重復:只要調節好后，接下電流開(kāi)關(guān),可由政顯直接讀出測量值)

5.若數顯爐滅,僅剿"1"表示超出該量程電壓值,可將電壓量理開(kāi)關(guān)撥到檔位;

6,讀數后，將性開(kāi)關(guān)撥至另一方,可讀出負性時(shí)的魔量值，將兩次測量值取平均數即為樣品在該處的電阻率值。

三、注意事項:

1.壓下深頭時(shí)壓力要適中,以免想壞探針。

2.由于樣品表面電阻可松分布不均,8量時(shí)應對一個(gè)樣品多測幾個(gè)點(diǎn)然后取平均置:

3.樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查時(shí)中的厚魔修正案數，進(jìn)行慘正